Физико-химические и электрофизические свойства тонких пленок β-Ga2O3:Zn, полученных методом PECVD
Авторы | автор Ерзакова Н. Н. (Сотрудник), автор Алмаев А. В. (Сотрудник), автор Яковлев Н. Н. (Сотрудник), автор Черников Е. В. (Сотрудник), автор Поляков А. Я. (Сотрудник другой организации) |
Тип | Статья в журнале |
Год | 2023 |
Язык | русский |
Отдел | Радиофизический факультет, Центр исследований и разработок "Перспективные технологии в микроэлектронике", каф. полупроводниковой электроники (РФФ), Центр исследований и разработок "Перспективные технологии в микроэлектронике" |
Библиографическая запись | Физико-химические и электрофизические свойства тонких пленок β-Ga2O3:Zn, полученных методом PECVD / А.Я. Поляков, А.В. Алмаев, Н.Н. Яковлев, Е.В. Черников [и др.] // Известия высших учебных заведений. Физика. 2023. Т. 66, № 7. С. 66‒73. DOI: 10.17223/00213411/66/7/8 |
Направление науки | |
УДК |
Учебная деятельность
Научная деятельность
Конкурсная деятельность