Физико-химические и электрофизические свойства тонких пленок β-Ga2O3:Zn, полученных методом PECVD

Авторы автор Ерзакова Н. Н. (Сотрудник), автор Алмаев А. В. (Сотрудник), автор Яковлев Н. Н. (Сотрудник), автор Черников Е. В. (Сотрудник), автор Поляков А. Я. (Сотрудник другой организации)
Тип Статья в журнале
Год 2023
Язык русский
Отдел Радиофизический факультет, Центр исследований и разработок "Перспективные технологии в микроэлектронике", каф. полупроводниковой электроники (РФФ), Центр исследований и разработок "Перспективные технологии в микроэлектронике"
Библиографическая запись Физико-химические и электрофизические свойства тонких пленок β-Ga2O3:Zn, полученных методом PECVD / А.Я. Поляков, А.В. Алмаев, Н.Н. Яковлев, Е.В. Черников [и др.] // Известия высших учебных заведений. Физика. 2023. Т. 66, № 7. С. 66‒73. DOI: 10.17223/00213411/66/7/8
Направление науки
УДК