Current state of research in precisionmicroprocessing and some of theirapplications

Авторы автор Лябин Н. А. (Сотрудник другой организации), автор Казарян М. А. (Сотрудник), автор Асратьян А. А. (Сотрудник другой организации), автор Казарян С. М. (Сотрудник другой организации), автор Амброзевич С. А. (Сотрудник другой организации), автор Красовский В. И. (Сотрудник другой организации), автор Мчитарян М. (Сотрудник другой организации), автор Тоноян Г. (Сотрудник другой организации), автор Морозова Е. А. (Сотрудник другой организации), автор Андриенко О. С. (Сотрудник), автор Хонгда Л. (Сотрудник другой организации), автор Сачков В. И. (Сотрудник)
Тип Статья в журнале
Год 2019
Язык английский
Отдел Обособленное структурное подразделение "Сибирский физико-технический институт", лаб. "инновационно-технологический центр" (ОСП "СФТИ ТГУ")
Библиографическая запись Current state of research in precisionmicroprocessing and some of theirapplications / Sachkov V.I., Lyabin N.A., Kazaryan M.A., Asratian A.A., Kazarian S.M. [et al] // Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering. 2019. Vol. 11322. P. 113221F-1—113221F-4. URL: https://www.spiedigitallibrary.org/conference-proceedings-of-spie/11322/113221F/Current-state-of-research-in-precision-microprocessing-and-some-of/10.1117/12.2550843.full (date of access: 23.12.2019). DOI: 10.1117/12.2550843
Направление науки
УДК