Особенности измерения удельного сопротивления поликристаллического кремния

Авторы	автор Гончарова М. А. (Студент), автор Левашкин А. Г. (Сотрудник), автор Башкиров А. И. (Сотрудник), автор Лапатин Л. Г. (Сотрудник), автор Воронин Д. А. (Студент)
Тип	Статья в сборнике материалов конференций, симпозиумов и др.
Год	2020
Язык	русский
Отдел	Факультет инновационных технологий, каф. управления инновациями (ФИТ)
Библиографическая запись	Тимофеева М.А., Левашкин А.Г., Башкиров А.И., Лапатин Л.Г., Воронин Д.А. Особенности измерения удельного сопротивления поликристаллического кремния //Инноватика-2020 : сборник материалов XVI Международной школы-конференции студентов, аспирантов и молодых ученых, 23-25 апреля 2020 г. Томск: STT, 2020. С. 119-124.
Направление науки
УДК

Учебная деятельность

Научная деятельность

Конкурсная деятельность