High-frequency imaging for flaw detection of microelectronics elements with high resolution

Авторы автор Жакупов С. Н. (Студент), автор Бадьин А. В. (Сотрудник)
Тип Статья в журнале
Год 2020
Язык английский
Отдел Научное управление, научная лаборатория терагерцовых исследований (НУ)
Библиографическая запись Zhakupov S.N., Badin A.V. High-frequency imaging for flaw detection of microelectronics elements with high resolution //Journal of Physics: Conference Series. 2020. Vol. 1499. P. 012006-1-012006-5.
Направление науки
УДК