High-frequency imaging for flaw detection of microelectronics elements with high resolution
Авторы | автор Жакупов С. Н. (Студент), автор Бадьин А. В. (Сотрудник) |
Тип | Статья в журнале |
Год | 2020 |
Язык | английский |
Отдел | Научное управление, научная лаборатория терагерцовых исследований (НУ) |
Библиографическая запись | Zhakupov S.N., Badin A.V. High-frequency imaging for flaw detection of microelectronics elements with high resolution //Journal of Physics: Conference Series. 2020. Vol. 1499. P. 012006-1-012006-5. |
Направление науки | |
УДК |
Учебная деятельность
Научная деятельность
Конкурсная деятельность