Применение ГВЧ имиджинга для дефектоскопии элементов микроэлектроники с высоким разрешением

Авторы	автор Жакупов С. Н. (Студент), автор Бадьин А. В. (Студент)
Тип	Статья в сборнике материалов конференций, симпозиумов и др.
Год	2019
Язык	русский
Отдел	Радиофизический факультет, каф. радиофизики (РФФ)
Библиографическая запись	Жакупов С.Н., Бадьин А.В. Применение ГВЧ имиджинга для дефектоскопии элементов микроэлектроники с высоким разрешением //Актуальные проблемы радиофизики. АПР-2019 : 8-я Международная научно-практическая конференция, г. Томск, 1-4 октября 2019 г. : сборник трудов конференции. Томск: Издательский Дом Томского государственного университета, 2019. С. 193-195.
Направление науки
УДК

Учебная деятельность

Научная деятельность

Конкурсная деятельность