Свойства пленок оксида галлия, полученных ВЧ-магнетронным напылением

Авторы	автор Лыгденова Т. З. (Студент), автор Калыгина В. М. (Сотрудник), автор Новиков В. А. (Сотрудник), автор Прудаев И. А. (Сотрудник), автор Толбанов О. П. (Сотрудник), автор Тяжев А. В. (Сотрудник)
Тип	Статья в журнале
Год	2017
Язык	русский
Отдел	Радиофизический факультет, каф. полупроводниковой электроники (РФФ)
Библиографическая запись	Т.З. Лыгденова, В.М. Калыгина, В.А. Новиков, И.А. Прудаев, О.П. Толбанов, Тяжев А.В. Свойства пленок оксида галлия, полученных ВЧ-магнетронным напылением //Известия вузов. Физика. 2017. Т. 60, № 11. С. 56-60.
Направление науки
УДК

Учебная деятельность

Научная деятельность

Конкурсная деятельность