Численное моделирование движения ступеней на боковых гранях 3D островков

Авторы автор Безродный Д. А. (Сотрудник), автор Филимонов С. Н. (Сотрудник)
Тип Тезисы
Год 2016
Язык русский
Отдел Физический факультет, Научное управление, каф. физики полупроводников (ФФ), лаб. наноэлектроники и нанофотоники (НУ)
Библиографическая запись Безродный Д.А., Филимонов С.Н. Численное моделирование движения ступеней на боковых гранях 3D островков //Тезисы докладов XI Конференции и X Школы молодых ученых и специалистов по актуальным проблемам физики, материаловедения, технологии и диагностики кремния, нанометровых структур и приборов на его основе. Кремний-2016. 12-15 сентября 2016 г. Новосибирск, 2016. С. 41.
Направление науки
УДК