Методы контроля скорости напыления кремния и германия при МЛЭ

Авторы	автор Дирко В. В. (Аспирант), автор Заяханов В. А. (Студент), автор Карева К. В. (Студент)
Тип	Статья в сборнике материалов конференций, симпозиумов и др.
Год	2018
Язык	русский
Отдел	Радиофизический факультет, каф. квантовой электроники и фотоники (РФФ)
Библиографическая запись	Дирко В.В., Заяханов В.А., Карева К.В. Методы контроля скорости напыления кремния и германия при МЛЭ //Квантовая физика. МНСК-2018 : материалы 56-й Междунар. науч. студенческой конф., 22-27 апр. 2018 г. Новосибирск: ИПЦ НГУ, 2018. С. 9.
Направление науки
УДК

Учебная деятельность

Научная деятельность

Конкурсная деятельность