Исследование эпитаксиальных гетерослоев GeSi/Si методом рентгеновской дифрактометрии

Авторы автор Карева К. В. (Студент), автор Дирко В. В. (Аспирант), автор Заяханов В. А. (Студент)
Тип Статья в сборнике материалов конференций, симпозиумов и др.
Год 2018
Язык русский
Отдел Радиофизический факультет, каф. квантовой электроники и фотоники (РФФ)
Библиографическая запись Карева К.В., Дирко В.В., Заяханов В.А. Исследование эпитаксиальных гетерослоев GeSi/Si методом рентгеновской дифрактометрии //Физика твердого тела : сб. материалов XVI Рос. науч. студенческой конф. (г. Томск, 17-20 апр. 2018 г.). Томск: Изд-во НТЛ, 2018. С. 205-206.
Направление науки
УДК