Неразрушающий терагерцовый имиджинг объектовмикроэлектроники

Авторы автор Бердюгин А. И. (Аспирант), автор Бадьин А. В. (Сотрудник), автор Жакупов С. Н. (Студент)
Тип Статья в сборнике материалов конференций, симпозиумов и др.
Год 2020
Язык русский
Отдел Радиофизический факультет, каф. радиоэлектроники (РФФ)
Библиографическая запись Бердюгин А.И., Бадьин А.В., Жакупов С.Н. Неразрушающий терагерцовый имиджинг объектовмикроэлектроники // Электронные средства и системы управления : материалы докладов XVI Международной научно-практической конференции,18-20 ноября 2020 г. : в 2 ч. Ч. 1. Томск: В-Спектр, 2020. С. 162‒164.
Направление науки
УДК