Continuous terahertz wave imaging of microelectronics objects
Авторы | автор Бердюгин А. И. (Сотрудник), автор Бадьин А. В. (Сотрудник) |
Тип | Статья в журнале |
Год | 2021 |
Язык | английский |
Отдел | Научное управление, научная лаборатория терагерцовых исследований (НУ) |
Библиографическая запись | Berdyugin A.I., Badin A.V. Continuous terahertz wave imaging of microelectronics objects // Journal of Physics: Conference Series. 2021. Vol. 1862. Art. num. 12030. DOI: 10.1088/1742-6596/1862/1/012030 |
Направление науки | |
УДК |
Учебная деятельность
Научная деятельность
Конкурсная деятельность