Continuous terahertz wave imaging of microelectronics objects

Авторы автор Бердюгин А. И. (Сотрудник), автор Бадьин А. В. (Сотрудник)
Тип Статья в журнале
Год 2021
Язык английский
Отдел Научное управление, научная лаборатория терагерцовых исследований (НУ)
Библиографическая запись Berdyugin A.I., Badin A.V. Continuous terahertz wave imaging of microelectronics objects // Journal of Physics: Conference Series. 2021. Vol. 1862. Art. num. 12030. DOI: 10.1088/1742-6596/1862/1/012030
Направление науки
УДК