ТГУ.Сотрудники
Ионная очистка поверхностей Ge-подложек перед ионно-лучевым напылением тонких пленок
| Авторы | автор Кулеш М. М. (Студент), автор Грибенюков А. И. (Сотрудник), автор Лысенко А. Б. (Сотрудник), автор Габдрахманов А. Ш. (Аспирант), автор Кальсин А. Ю. (Аспирант), автор Зиновьев М. М. (Сотрудник), автор Кузнецов В. С. (Сотрудник), автор Слюнько Е. С. (Сотрудник), автор Юдин Н. Н. (Сотрудник), автор Антипов О. Л. (Сотрудник другой организации), автор Подзывалов С. Н. (Аспирант), автор Баалбаки Х. А. (Сотрудник) |
| Тип | Статья в журнале |
| Год | 2025 |
| Язык | русский |
| Отдел | Радиофизический факультет, Факультет инновационных технологий, каф. квантовой электроники и фотоники (РФФ), каф. управления инновациями (ФИТ), Радиофизический факультет |
| Библиографическая запись | Ионная очистка поверхностей Ge-подложек перед ионно-лучевым напылением тонких пленок / В.С. Кузнецов, М.М. Зиновьев, Н.Н. Юдин, С.Н. Подзывалов [и др.] // Известия высших учебных заведений. Физика. 2025. Т. 68, № 1. С. 90‒99. DOI: 10.17223/00213411/68/1/10 |
| Направление науки | |
| УДК |
Учебная деятельность
Научная деятельность
Конкурсная деятельность