Implantation of gas and metal ions from a planar magnetron discharge system with electron injection

Авторы	автор Савкин К. П. (Сотрудник другой организации), автор Семин В. О. (Сотрудник), автор Черкасов А. А. (Сотрудник другой организации), автор Шандриков М. В. (Сотрудник другой организации), автор Липатов Е. И. (Сотрудник), автор Окс Е. М. (Сотрудник другой организации)
Тип	Тезисы
Год	2024
Язык	английский
Отдел	Радиофизический факультет, каф. квантовой электроники и фотоники (РФФ)
Библиографическая запись	Implantation of gas and metal ions from a planar magnetron discharge system with electron injection / E.I. Lipatov, A.A. Cherkasov, E.M. Oks, K.P. Savkin [et al] // 9th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2024) : abstracts. Novosibirsk: Academizdat Publishing, 2024. P. 214.
Направление науки
УДК

Учебная деятельность

Научная деятельность

Конкурсная деятельность