Методы исследования и управления микроплазменными процессами при синтезе покрытий

Авторы	автор Мамаева В. А. (Сотрудник), автор Беспалова Ю. Н. (Сотрудник), автор Мамаев А. И. (Сотрудник)
Тип	Статья в журнале
Год	2022
Язык	русский
Отдел	Научное управление, научно-инновационный образовательный центр «Микроплазменные технологии» (НУ)
Библиографическая запись	Мамаев А.И., Мамаева В.А., Беспалова Ю.Н. Методы исследования и управления микроплазменными процессами при синтезе покрытий // Журнал технической физики. 2022. Т. 92, № 9. С. 1440‒1448. DOI: 10.21883/JTF.2022.09.52937.90-22
Направление науки
УДК

Учебная деятельность

Научная деятельность

Конкурсная деятельность