Efficient arc sources of gas-discharge plasma in vacuum-plasma production facilities

Авторы автор Борисов Д. П., автор Коваль Н. Н., автор Коротаев А. Д., автор Кузнецов В. М., автор Романов В. Я., автор Сильченко П. Н., автор Терехов П. А., автор Чулков Е. В.
Тип Статья в журнале
Год 2012
Язык русский
Отдел Физический факультет, каф. физики металлов (ФФ)
Библиографическая запись Борисов Д.П., Коваль Н.Н., Коротаев А.Д., Кузнецов В.М., Романов В.Я., Сильченко П.Н., Терехов П.А., Чулков Е.В. Efficient arc sources of gas-discharge plasma in vacuum-plasma production facilities //Известия вузов. Физика. 2012. Т. 55, № 12(2). С. 24-28.
Направление науки
УДК