Плазменно-иммерсионная ионная обработка изделий со сложно-разветвленной формой поверхности

Авторы автор Кашин О. А. (Сотрудник), автор Лотков А. И. (Сотрудник), автор Борисов Д. П. (Сотрудник), автор Слабодчиков В. А. (Сотрудник), автор Кузнецов В. М. (Сотрудник), автор Кудряшов А. Н. (Сотрудник другой организации), автор Круковский К. В. (Сотрудник)
Тип Тезисы
Год 2016
Язык русский
Отдел Физический факультет, каф. общей и экспериментальной физики (ФФ)
Библиографическая запись Кашин О.А., Лотков А.И., Борисов Д.П., Слабодчиков В.А., Кузнецов В.М., Кудряшов А.Н., Круковский К.В. Плазменно-иммерсионная ионная обработка изделий со сложно-разветвленной формой поверхности //Тезисы докладов Международной конференции «Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций» 19-23 сентября 2016 г., Томск, Россия. Томск: Издательство ИФПМ СО РАН, 2016. С. 164.
Направление науки
УДК