ТГУ.Сотрудники
Plasma source based on an unbalanced magnetron sputtering system
| Авторы | автор Борисов Д. П. (Сотрудник), автор Слабодчиков В. А. (Аспирант), автор Кузнецов В. М. (Сотрудник) |
| Тип | Статья в журнале |
| Год | 2017 |
| Язык | английский |
| Отдел | Физический факультет, каф. физики металлов (ФФ) |
| Библиографическая запись | Borisov D.P., Slabodchikov V.A., Kuznetsov V.M. Plasma source based on an unbalanced magnetron sputtering system //Journal of Physics: Conference Series. 2017. Vol. 830. P. 012057-1-01205-5. |
| Направление науки | |
| УДК |
Учебная деятельность
Научная деятельность
Конкурсная деятельность