Effect of different methods of preliminary surface treatment and magnetron sputtering on the adhesion of Si coatings

Авторы	автор Борисов Д. П. (Сотрудник), автор Слабодчиков В. А. (Аспирант), автор Кузнецов В. М. (Сотрудник)
Тип	Статья в журнале
Год	2017
Язык	английский
Отдел	Физический факультет, каф. физики металлов (ФФ)
Библиографическая запись	Borisov D.P., Slabodchikov V.A., Kuznetsov V.M. Effect of different methods of preliminary surface treatment and magnetron sputtering on the adhesion of Si coatings //Journal of Physics: Conference Series. 2017. Vol. 830. P. 1-5.
Направление науки
УДК

Учебная деятельность

Научная деятельность

Конкурсная деятельность