Plasma immersion ion implantation for surface treatment of complex branchedstructures

Авторы автор Кашин О. А. (Сотрудник), автор Лотков А. И. (Сотрудник), автор Борисов Д. П. (Сотрудник), автор Слабодчиков В. А. (Аспирант), автор Кузнецов В. М. (Сотрудник), автор Kudryashov A. N. (Сотрудник другой организации), автор Krukovsky K. V. (Сотрудник другой организации)
Тип Статья в журнале
Год 2016
Язык английский
Отдел Физический факультет, каф. физики металлов (ФФ)
Библиографическая запись O.A. Kashin, A.I. Lotkov, D.P. Borisov, V.A. Slabodchikov, V.M. Kuznetsov, A.N. Kudryashov, K.V. Krukovsky. Plasma immersion ion implantation for surface treatment of complex branchedstructures //AIP Conference Proceedings. 2016. Vol. 1783. P. 020082-1-020082-4.
Направление науки
УДК