Технологические установки для эффективной вакуумно-плазменной обработки изделий на основе источников низкотемпературной плазмы

Авторы автор Борисов Д. П. (Сотрудник), автор Коротаев А. Д. (Сотрудник), автор Кузнецов В. М. (Сотрудник), автор Романов В. Я. (Сотрудник другой организации), автор Терехов П. А. (Аспирант)
Тип Статья в журнале
Год 2014
Язык русский
Отдел Физический факультет, Обособленное структурное подразделение "Сибирский физико-технический институт", каф. физики металлов (ФФ), лаб.физики структурных превращений (ОСП "СФТИ ТГУ")
Библиографическая запись Борисов Д.П., Коротаев А.Д., Кузнецов В.М., Романов В.Я., Терехов П.А. Технологические установки для эффективной вакуумно-плазменной обработки изделий на основе источников низкотемпературной плазмы //Известия вузов. Физика. 2014. Т. 57, № 3/2. С. 62-64.
Направление науки
УДК