Технологические способы эффективной вакуумно-плазменной обработки изделий в вакуумных камерах большого объёма

Авторы автор Борисов Д. П. (Сотрудник), автор Коротаев А. Д. (Сотрудник), автор Кузнецов В. М. (Сотрудник), автор Романов В. Я. (Сотрудник другой организации), автор Терехов П. А. (Аспирант), автор Шулепов И. А. (Сотрудник другой организации)
Тип Статья в журнале
Год 2014
Язык русский
Отдел Физический факультет, Обособленное структурное подразделение "Сибирский физико-технический институт", каф. физики металлов (ФФ), лаб.физики структурных превращений (ОСП "СФТИ ТГУ")
Библиографическая запись Борисов Д.П., Коротаев А.Д., Кузнецов В.М., Романов В.Я., Терехов П.А., Шулепов И.А. Технологические способы эффективной вакуумно-плазменной обработки изделий в вакуумных камерах большого объёма //Известия вузов. Физика. 2014. Т. 57, № 3/3. С. 47-51.
Направление науки
УДК