Система контроля дефектности полупроводниковых пластин и структур

Авторы	автор Толбанов О. П. (Сотрудник), автор Винник А. Е. (Сотрудник), автор Скакунов М. С. (Сотрудник), автор Тяжев А. В. (Сотрудник), автор Шаймерденова Л. К. (Сотрудник)
Тип	Статья в сборнике материалов конференций, симпозиумов и др.
Год	2023
Язык	русский
Отдел	Центр исследований и разработок "Перспективные технологии в микроэлектронике", Центр исследований и разработок "Перспективные технологии в микроэлектронике"
Библиографическая запись	Система контроля дефектности полупроводниковых пластин и структур / А.Е. Винник, А.В. Тяжев, О.П. Толбанов, Л.К. Шаймерденова [и др.] // Актуальные проблемы радиофизики: 10-я Международная научно-практическая конференция, 26-29 сентября 2023 г., г. Томск : сборник трудов конференции. Томск: Изд. дом Том. гос. ун-та, 2023. С. 311.
Направление науки
УДК

Учебная деятельность

Научная деятельность

Конкурсная деятельность