High-spatial resolution measurements with a GaAs:Cr sensor using the charge integrating MÖNCH detector with a pixel pitch of 25 m

Авторы автор Зарубин А. Н. (Сотрудник), автор Тяжев А. В. (Сотрудник), автор Щербаков И. Д. (Сотрудник), автор Толбанов О. П. (Сотрудник), автор Chiriotti S. (Сотрудник другой организации), автор Лозинская А. Д. (Сотрудник)
Тип Статья в журнале
Год 2022
Язык английский
Отдел Центр исследований и разработок "Перспективные технологии в микроэлектронике", Центр исследований и разработок "Перспективные технологии в микроэлектронике"
Библиографическая запись High-spatial resolution measurements with a GaAs:Cr sensor using the charge integrating MÖNCH detector with a pixel pitch of 25 m / I.D. Chsherbakov, A.D. Lozinskaya, O.P. Tolbanov, A.V. Tyazhev [et al] // Journal of Instrumentation. 2022. Vol. 17, № 4. Art. num. P04007. DOI: 10.1088/1748-0221/17/04/P04007
Направление науки
УДК