Информационно-измерительный микроплазменный комплекс для формирования наноструктурных неметаллических неорганических покрытий с заданными свойствами

Авторы автор Фещенко А. В., автор Заседатель В. С., автор Терентьев А. Н., автор Мамаева В. А. (Сотрудник другой организации), автор Мамаев А. И. (Сотрудник другой организации)
Тип Статья в сборнике материалов конференций, симпозиумов и др.
Год 2012
Язык русский
Отдел Философский факультет, каф. гуманитарных проблем информатики (ФсФ)
Библиографическая запись Фещенко А.В., Заседатель В.С., Терентьев А.Н., Мамаева В.А., Мамаев А.И. Информационно-измерительный микроплазменный комплекс для формирования наноструктурных неметаллических неорганических покрытий с заданными свойствами //XIX Всероссийская научно-методическая конференция "Телематика 2012". Санкт-Петербург, 2012. С. 203-204.
Направление науки
УДК