Влияние рельефа поверхности подложки на особенности структуры покрытия Si, полученного магнетронным распылением
Авторы | автор Слабодчиков В. А. (Аспирант), автор Овчинников С. В. (Сотрудник), автор Кузнецов В. М. (Сотрудник) |
Тип | Тезисы |
Год | 2017 |
Язык | русский |
Отдел | Физический факультет, каф. общей и экспериментальной физики (ФФ) |
Библиографическая запись | Слабодчиков В.А., Овчинников С.В., Кузнецов В.М. Влияние рельефа поверхности подложки на особенности структуры покрытия Si, полученного магнетронным распылением //Международная конференция "Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций", 9-13 окт. 2017 г., Томск, Россия : тез. докл. Томск: Издательство ИФПМ СО РАН, 2017. С. 456. |
Направление науки | |
УДК |
Учебная деятельность
Научная деятельность
Конкурсная деятельность