Влияние рельефа поверхности подложки на особенности структуры покрытия Si, полученного магнетронным распылением

Авторы автор Слабодчиков В. А. (Аспирант), автор Овчинников С. В. (Сотрудник), автор Кузнецов В. М. (Сотрудник)
Тип Тезисы
Год 2017
Язык русский
Отдел Физический факультет, каф. общей и экспериментальной физики (ФФ)
Библиографическая запись Слабодчиков В.А., Овчинников С.В., Кузнецов В.М. Влияние рельефа поверхности подложки на особенности структуры покрытия Si, полученного магнетронным распылением //Международная конференция "Перспективные материалы с иерархической структурой для новых технологий и надежных конструкций", 9-13 окт. 2017 г., Томск, Россия : тез. докл. Томск: Издательство ИФПМ СО РАН, 2017. С. 456.
Направление науки
УДК
Ссылка на экземпляр в электронной библиотеке http://chamo.lib.tsu.ru/lib/item?id=chamo:633237