Local quasioptical resonator diagnostics of semiconductor wafers

Авторы автор Дорофеев И. О. (Сотрудник), автор Дунаевский Г. Е. (Сотрудник), автор Бадьин А. В. (Сотрудник), автор Дорожкин К. В. (Аспирант), автор Бессонов В. В. (Студент), автор Ходовицкий С. О. (Студент)
Тип Статья в журнале
Год 2018
Язык английский
Отдел Радиофизический факультет, каф. радиоэлектроники (РФФ)
Библиографическая запись Dorofeev I.O., Dunaevskii G.E., Badin A.V., Dorozhkin K.V., Bessonov V.V., Khodovitskiy S.O. Local quasioptical resonator diagnostics of semiconductor wafers //MATEC Web of conferences. 2018. Vol. 155. P. 01051-1-01051-7.
Направление науки
УДК
Ссылка на экземпляр в электронной библиотеке http://chamo.lib.tsu.ru/lib/item?id=chamo:658347