Effect of the Content of Silicon on the Optical Properties of Al–Si–N Coatings Irradiated with Carbon Ions in the Short-Pulse Implantation Mode

Авторы автор Ремнев Г. Е. (Сотрудник другой организации), автор Гадиров Р. М. (Сотрудник)
Тип Статья в журнале
Год 2022
Язык английский
Отдел Университет, Обособленное структурное подразделение "Сибирский физико-технический институт", Университет, лаб. органической электроники (ОСП "СФТИ ТГУ")
Библиографическая запись Effect of the Content of Silicon on the Optical Properties of Al–Si–N Coatings Irradiated with Carbon Ions in the Short-Pulse Implantation Mode / G.E. Remnev, R.M. Gadirov [et al] // Journal of Surface Investigation: X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques. 2022. Vol. 16, № 5. P. 702‒711. DOI: 10.1134/S1027451022050081
Направление науки
УДК