Effect of the Content of Silicon on the Optical Properties of Al–Si–N Coatings Irradiated with Carbon Ions in the Short-Pulse Implantation Mode
| Авторы | автор Ремнев Г. Е. (Сотрудник другой организации), автор Гадиров Р. М. (Сотрудник) |
| Тип | Статья в журнале |
| Год | 2022 |
| Язык | английский |
| Отдел | Университет, Обособленное структурное подразделение "Сибирский физико-технический институт", Университет, лаб. органической электроники (ОСП "СФТИ ТГУ") |
| Библиографическая запись | Effect of the Content of Silicon on the Optical Properties of Al–Si–N Coatings Irradiated with Carbon Ions in the Short-Pulse Implantation Mode / G.E. Remnev, R.M. Gadirov [et al] // Journal of Surface Investigation: X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques. 2022. Vol. 16, № 5. P. 702‒711. DOI: 10.1134/S1027451022050081 |
| Направление науки | |
| УДК |
Учебная деятельность
Научная деятельность
Конкурсная деятельность