Effect of the Content of Silicon on the Optical Properties of Al–Si–N Coatings Irradiated with Carbon Ions in the Short-Pulse Implantation Mode
Авторы | автор Ремнев Г. Е. (Сотрудник другой организации), автор Гадиров Р. М. (Сотрудник) |
Тип | Статья в журнале |
Год | 2022 |
Язык | английский |
Отдел | Университет, Обособленное структурное подразделение "Сибирский физико-технический институт", Университет, лаб. органической электроники (ОСП "СФТИ ТГУ") |
Библиографическая запись | Effect of the Content of Silicon on the Optical Properties of Al–Si–N Coatings Irradiated with Carbon Ions in the Short-Pulse Implantation Mode / G.E. Remnev, R.M. Gadirov [et al] // Journal of Surface Investigation: X-Ray, Synchrotron and Neutron Techniques. 2022. Vol. 16, № 5. P. 702‒711. DOI: 10.1134/S1027451022050081 |
Направление науки | |
УДК |
Учебная деятельность
Научная деятельность
Конкурсная деятельность