Effect of short-pulsed 200 keV C+ ion beam and continuous 350 keV He2+ ion beam irradiation on optical properties of Al-Si-N coatings with a various Si content

Авторы автор Конусов Ф. (Сотрудник другой организации), автор Pavlov S. K. (Сотрудник другой организации), автор Lauk A. L. (Сотрудник другой организации), автор Tarbokov V. (Сотрудник другой организации), автор Karpov S. (Сотрудник другой организации), автор Karpov V. (Сотрудник другой организации), автор Гадиров Р. М. (Сотрудник), автор Kashkarov E. B. (Сотрудник другой организации), автор Remnev G. (Сотрудник другой организации)
Тип Статья в журнале
Год 2020
Язык английский
Отдел Обособленное структурное подразделение "Сибирский физико-технический институт", отделение фотоники (ОСП "СФТИ ТГУ")
Библиографическая запись Konusov F., Pavlov S., Lauk A.L., Tarbokov Vladislav, Karpov S., Karpov V., Gadirov R.M., Kashkarov E.B., Remnev G. Effect of short-pulsed 200 keV C+ ion beam and continuous 350 keV He2+ ion beam irradiation on optical properties of Al-Si-N coatings with a various Si content //Surface and Coatings Technology. 2020. Vol. 389. P. 1-8.
Направление науки
УДК