Свойства пленок оксида галлия, полученных методом электрохимического окисления пластин GaAs

Авторы	научный руководитель Калыгина В. М. (Сотрудник), автор Петрова Ю. С. (Сотрудник)
Тип	Автореферат диссертации
Год	2024
Язык	русский
Отдел	Центр исследований и разработок "Перспективные технологии в микроэлектронике", Радиофизический факультет, лаборатория металлооксидных полупроводников (ЦИР ПТМ), каф. полупроводниковой электроники (РФФ)
Библиографическая запись	Петрова Ю.С. Свойства пленок оксида галлия, полученных методом электрохимического окисления пластин GaAs: автореф. дис. ... канд. физ.-мат. наук. Томск, 2024. 27 с.
Направление науки
УДК

Учебная деятельность

Научная деятельность

Конкурсная деятельность