Исследование возможностей термического напыления тонких слоев Ga2O3 и GaSe на подложки из сапфира и селенида галлия

Авторы автор Мамежанов М. К. (Студент), автор Березная С. А. (Сотрудник), автор Коротченко З. В. (Сотрудник), автор Редькин Р. А. (Студент), автор Саркисов С. Ю. (Сотрудник)
Тип Статья в сборнике материалов конференций, симпозиумов и др.
Год 2016
Язык русский
Отдел Радиофизический факультет, каф. полупроводниковой электроники (РФФ)
Библиографическая запись М.К. Мамежанов, С.А. Березная, З.В. Коротченко, Р.А. Редькин, С.Ю. Саркисов. Исследование возможностей термического напыления тонких слоев Ga2O3 и GaSe на подложки из сапфира и селенида галлия //Труды XIII Всероссийской конференции студенческих научно-исследовательских инкубаторов. Томск, 17–18 мая 2016 г. Томск: Издательский Дом ТГУ, 2016. С. 27-29.
Направление науки
УДК