Исследование возможностей термического напыления тонких слоев Ga2O3 и GaSe на подложки из сапфира и селенида галлия

Авторы автор Мамежанов М. К. (Студент), автор Березная С. А. (Сотрудник), автор Коротченко З. В. (Сотрудник), автор Редькин Р. А. (Студент), автор Саркисов С. Ю. (Сотрудник)
Тип Статья в сборнике материалов конференций, симпозиумов и др.
Год 2016
Язык русский
Отдел Радиофизический факультет, каф. полупроводниковой электроники (РФФ)
Библиографическая запись Мамежанов М.К., Березная С.А., Коротченко З.В., Редькин Р.А., Саркисов С.Ю. Исследование возможностей термического напыления тонких слоев Ga2O3 и GaSe на подложки из сапфира и селенида галлия //Физика твердого тела : сб. материалов XV Российской научной студенческой конференции (18-20 мая 2016 г., г. Томск, Россия). Томск: Издательский Дом ТГУ, 2016. С. 184-186.
Направление науки
УДК
Ссылка на экземпляр в электронной библиотеке http://chamo.lib.tsu.ru/lib/item?id=chamo:565718