Deposition of coatings by activation of hexamethyldisiloxane in dc glow discharge in argon flow

Авторы автор Нехорошев В. О. (Сотрудник другой организации), автор Зуза Д. А. (Сотрудник другой организации), автор Батраков А. В. (Сотрудник другой организации), автор Курзина И. А. (Сотрудник)
Тип Тезисы
Год 2023
Язык английский
Отдел Химический факультет, Химический факультет, каф. природных соединений, фармацевтической и медицинской химии (ХФ)
Библиографическая запись Zuza D.A., Nekhoroshev V.O., Batrakov A.V., Kurzina I.A. Deposition of coatings by activation of hexamethyldisiloxane in dc glow discharge in argon flow // Perspective plasma technologies, november 11−14 : abstract book of XIVth China-Russia-Belarus symposium "Perspective plasma technologies 2023". Tomsk: TPU Publishing House, 2023. P. 32‒33.
Направление науки
УДК