Chemical constitution of coatings deposited remotely by activation of hexamethyldisiloxane in positive column plasma of glow discharge in argon flow

Авторы автор Батраков А. В. (Сотрудник другой организации), автор Курзина И. А. (Сотрудник), автор Зуза Д. А. (Сотрудник другой организации), автор Марков А. Б. (Сотрудник другой организации), автор Нехорошев В. О. (Сотрудник другой организации), автор Чернявский А. В. (Сотрудник другой организации)
Тип Статья в журнале
Год 2023
Язык английский
Отдел Химический факультет, каф. природных соединений, фармацевтической и медицинской химии (ХФ), Химический факультет
Библиографическая запись Chemical constitution of coatings deposited remotely by activation of hexamethyldisiloxane in positive column plasma of glow discharge in argon flow / I.A. Kurzina, D.A. Zuza, V.O. Nekhoroshev, A.V. Batrakov [et al] // Vacuum. 2023. Vol. In Press, Journal Pre-proof. Art. num. 112858. DOI: 10.1016/j.vacuum.2023.112858
Направление науки
УДК