Chemical constitution of coatings deposited remotely by activation of hexamethyldisiloxane in positive column plasma of glow discharge in argon flow

Авторы автор Курзина И. А. (Сотрудник), автор Чернявский А. В. (Сотрудник другой организации), автор Нехорошев В. О. (Сотрудник другой организации), автор Марков А. Б. (Сотрудник другой организации), автор Батраков А. В. (Сотрудник другой организации), автор Зуза Д. А. (Сотрудник другой организации)
Тип Статья в журнале
Год 2024
Язык английский
Отдел Химический факультет, каф. природных соединений, фармацевтической и медицинской химии (ХФ), Химический факультет
Библиографическая запись Chemical constitution of coatings deposited remotely by activation of hexamethyldisiloxane in positive column plasma of glow discharge in argon flow / I.A. Kurzina, D.A. Zuza, V.O. Nekhoroshev, A.V. Batrakov [et al] // Vacuum. 2024. Vol. 221. Art. num. 112858. DOI: 10.1016/j.vacuum.2023.112858
Направление науки
УДК