Chemical constitution of coatings deposited remotely by activation of hexamethyldisiloxane in positive column plasma of glow discharge in argon flow
Авторы | автор Курзина И. А. (Сотрудник), автор Чернявский А. В. (Сотрудник другой организации), автор Нехорошев В. О. (Сотрудник другой организации), автор Марков А. Б. (Сотрудник другой организации), автор Батраков А. В. (Сотрудник другой организации), автор Зуза Д. А. (Сотрудник другой организации) |
Тип | Статья в журнале |
Год | 2024 |
Язык | английский |
Отдел | Химический факультет, каф. природных соединений, фармацевтической и медицинской химии (ХФ), Химический факультет |
Библиографическая запись | Chemical constitution of coatings deposited remotely by activation of hexamethyldisiloxane in positive column plasma of glow discharge in argon flow / I.A. Kurzina, D.A. Zuza, V.O. Nekhoroshev, A.V. Batrakov [et al] // Vacuum. 2024. Vol. 221. Art. num. 112858. DOI: 10.1016/j.vacuum.2023.112858 |
Направление науки | |
УДК |
Учебная деятельность
Научная деятельность
Конкурсная деятельность