Plasma-Assisted Deposition of Dielectric Conformal Coating Using Hexamethyldisiloxane as Precursor

Авторы	автор Зуза Д. А. (Студент), автор Батраков А. В. (Сотрудник другой организации), автор Нехорошев В. О. (Сотрудник другой организации), автор Курзина И. А. (Сотрудник), автор Попов С. А. (Сотрудник другой организации)
Тип	Статья в сборнике материалов конференций, симпозиумов и др.
Год	2020
Язык	английский
Отдел	Обособленное структурное подразделение "Научно-исследовательский институт биологии и биофизики Томского государственного университета", Научное управление, лаборатория трансляционной клеточной и молекулярной биомедицины (ОСП "НИИ ББ ТГУ"), Лаборатория химических технологий (НУ)
Библиографическая запись	Zuza D.A., Alexander Batrakov, Vitaly Nekhoroshev, Irina Kurzina, Sergey Popov. Plasma-Assisted Deposition of Dielectric Conformal Coating Using Hexamethyldisiloxane as Precursor //2020 7th International Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE). Proceedings. USA: IEEE, 2020. P. 1132-1135.
Направление науки
УДК

Учебная деятельность

Научная деятельность

Конкурсная деятельность