Сравнение результатов ионной имплантации и ионного травления варизонных эпитаксиальных структур HgCdTe

Авторы автор Талипов Н. Х., автор Войцеховский А. В., автор Ижнин И. И.
Тип Тезисы
Год 2011
Язык русский
Отдел Радиофизический факультет, Обособленное структурное подразделение "Сибирский физико-технический институт", каф. квантовой электроники и фотоники (РФФ), научно образовательный центр «Функциональные материалы радио и оптоэлектроники» (ОСП "СФТИ ТГУ")
Библиографическая запись Талипов Н.Х., Войцеховский А.В., Ижнин И.И. Сравнение результатов ионной имплантации и ионного травления варизонных эпитаксиальных структур HgCdTe // V Украинская научная конференция по физике полупроводников (УНКФН-5) с международным участием : сборник тезисов конференции. Ужгород, 2011. С. 175.
Направление науки
УДК