Сравнение результатов ионной имплантации и ионного травления варизонных эпитаксиальных структур HgCdTe
Авторы | автор Талипов Н. Х., автор Войцеховский А. В., автор Ижнин И. И. |
Тип | Тезисы |
Год | 2011 |
Язык | русский |
Отдел | Радиофизический факультет, Обособленное структурное подразделение "Сибирский физико-технический институт", каф. квантовой электроники и фотоники (РФФ), научно образовательный центр «Функциональные материалы радио и оптоэлектроники» (ОСП "СФТИ ТГУ") |
Библиографическая запись | Талипов Н.Х., Войцеховский А.В., Ижнин И.И. Сравнение результатов ионной имплантации и ионного травления варизонных эпитаксиальных структур HgCdTe // V Украинская научная конференция по физике полупроводников (УНКФН-5) с международным участием : сборник тезисов конференции. Ужгород, 2011. С. 175. |
Направление науки | |
УДК |
Учебная деятельность
Научная деятельность
Конкурсная деятельность