Вклад механических напряжений в формирование поверхностного рельефа при лазерном облучении полупроводников
Авторы | автор Средин В. Г. (Сотрудник другой организации), автор Войцеховский А. В. (Сотрудник), автор Сахаров М. В. (Сотрудник другой организации), автор Талипов Н. Х. (Сотрудник другой организации) |
Тип | Статья в журнале |
Год | 2019 |
Язык | русский |
Отдел | Радиофизический факультет, Обособленное структурное подразделение "Сибирский физико-технический институт", каф. квантовой электроники и фотоники (РФФ), научно образовательный центр «Функциональные материалы радио и оптоэлектроники» (ОСП "СФТИ ТГУ") |
Библиографическая запись | Средин В.Г., Войцеховский А.В., Сахаров М.В., Талипов Н.Х. Вклад механических напряжений в формирование поверхностного рельефа при лазерном облучении полупроводников // Известия высших учебных заведений. Физика. 2019. Т. 62, № 6. С. 125‒128. DOI: 10.17223/00213411/62/6/125 |
Направление науки | |
УДК |
Учебная деятельность
Научная деятельность
Конкурсная деятельность