Вклад механических напряжений в формирование поверхностного рельефа при лазерном облучении полупроводников

Авторы автор Средин В. Г. (Сотрудник другой организации), автор Войцеховский А. В. (Сотрудник), автор Сахаров М. В. (Сотрудник другой организации), автор Талипов Н. Х. (Сотрудник другой организации)
Тип Статья в журнале
Год 2019
Язык русский
Отдел Радиофизический факультет, Обособленное структурное подразделение "Сибирский физико-технический институт", каф. квантовой электроники и фотоники (РФФ), научно образовательный центр «Функциональные материалы радио и оптоэлектроники» (ОСП "СФТИ ТГУ")
Библиографическая запись Средин В.Г., Войцеховский А.В., Сахаров М.В., Талипов Н.Х. Вклад механических напряжений в формирование поверхностного рельефа при лазерном облучении полупроводников // Известия высших учебных заведений. Физика. 2019. Т. 62, № 6. С. 125‒128. DOI: 10.17223/00213411/62/6/125
Направление науки
УДК