Микроболометрические детекторы ИК диапазона на основе поликристаллического SiGe
Авторы | автор Кульчицкий Н. А. (Сотрудник другой организации), автор Мельников А. А. (Сотрудник другой организации), автор Войцеховский А. В. (Сотрудник), автор Несмелов С. Н. (Сотрудник) |
Тип | Статья в сборнике материалов конференций, симпозиумов и др. |
Год | 2013 |
Язык | русский |
Отдел | Радиофизический факультет, Обособленное структурное подразделение "Сибирский физико-технический институт", каф. квантовой электроники и фотоники (РФФ), научно образовательный центр «Функциональные материалы радио и оптоэлектроники» (ОСП "СФТИ ТГУ") |
Библиографическая запись | Кульчицкий Н.А., Мельников А.А., Войцеховский А.В., Несмелов С.Н. Микроболометрические детекторы ИК диапазона на основе поликристаллического SiGe //Вакуумная наука и техника: Материалы XX юбилейной научно-технической конференции. Под ред. доктора технических наук, профессора Д.В. Быкова. МИЭМ НИУ ВШЭ. Москва, 2013. С. 188-191. |
Направление науки | |
УДК |
Учебная деятельность
Научная деятельность
Конкурсная деятельность