Микроболометрические детекторы ИК диапазона на основе поликристаллического SiGe

Авторы автор Кульчицкий Н. А. (Сотрудник другой организации), автор Мельников А. А. (Сотрудник другой организации), автор Войцеховский А. В. (Сотрудник), автор Несмелов С. Н. (Сотрудник)
Тип Статья в сборнике материалов конференций, симпозиумов и др.
Год 2013
Язык русский
Отдел Радиофизический факультет, Обособленное структурное подразделение "Сибирский физико-технический институт", каф. квантовой электроники и фотоники (РФФ), научно образовательный центр «Функциональные материалы радио и оптоэлектроники» (ОСП "СФТИ ТГУ")
Библиографическая запись Кульчицкий Н.А., Мельников А.А., Войцеховский А.В., Несмелов С.Н. Микроболометрические детекторы ИК диапазона на основе поликристаллического SiGe //Вакуумная наука и техника: Материалы XX юбилейной научно-технической конференции. Под ред. доктора технических наук, профессора Д.В. Быкова. МИЭМ НИУ ВШЭ. Москва, 2013. С. 188-191.
Направление науки
УДК